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  • 石墨舟作為(wèi)太阳能(néng)電(diàn)池片镀减反射膜时的一种载體(tǐ),其结构和大小(xiǎo)直接影响硅片的转化效率和生产效率,经过多(duō)年的技术研究和发展,我司现拥有(yǒu)先进的生产设备、技术成熟的设计人员和经验丰富的生产员工,且材料均為(wèi)进口原料,目前我司所制造的石墨舟具有(yǒu)结构简单、石墨舟片距离合理(lǐ),使得硅片的镀膜均匀、提高硅片的品质,使得太阳能(néng)转化效率高。石金公司有(yǒu)现在市场需要的所有(yǒu)类型石墨舟
    发布时间:2020-10-21 浏览次数:14658
  • 膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据PEVCD石墨舟镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间,片子发白要减少沉积时间,如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的确认,不允许把不良品流入到下道工序,如色斑、水印镀膜不良,应及时挑出产線(xiàn)最常见的表面发白、色差、白点,其中表面发白主要由于氮化硅膜较厚导致,可(kě)通过调节膜沉积时间来调整;色差片主要由于气路堵塞、石英管漏气、微波故障等导致;白斑主要由于前道
    发布时间:2020-10-09 浏览次数:3842
  • 将新(xīn)石墨舟及使用(yòng)超过3 年的旧石墨舟饱和后进行PECVD镀膜,片间均匀性差异如图7 所示。由图7 可(kě)知,新(xīn)石墨舟​表面平整度好,石墨舟片导電(diàn)性一致,薄膜分(fēn)子可(kě)以均匀地沉积在硅片表面,片间均匀性更优。图8 為(wèi)新(xīn)石墨舟在使用(yòng)周期内的片间均匀性变化趋势图。
    发布时间:2020-08-09 浏览次数:3586
  • 石墨舟清洗 石墨舟烘干 石墨舟预处理(lǐ)(饱和) 石墨舟的维护
    发布时间:2020-07-16 浏览次数:4442
  • 管式镀膜在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,增强光的吸收与钝化作用(yòng),镀膜故障部分(fēn)存在解决时间比较長(cháng),分(fēn)析困难的情况,本文(wén)将介绍管式镀膜舟污染异常情况,期待与您共同进步。
    发布时间:2020-06-29 浏览次数:3928
  • 主要區(qū)别在于肉眼无法观察的一些细小(xiǎo)氮化硅颗粒物(wù)的残留导致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差异在3D显微镜状态下测试的氮化硅残留區(qū)域与非氮化硅残留區(qū)域微观形貌及粗糙度
    发布时间:2019-11-14 浏览次数:3038
  • 石墨舟污染原因和改善方法 少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能(néng)渡到wafer表面,造成小(xiǎo)白点 特气管道残遇硅烷(浓度很(hěn)低),随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。
    发布时间:2019-11-12 浏览次数:10984
  •   根据以上分(fēn)析炉管粉尘污染大致分(fēn)為(wèi)如下几类:   1.石墨舟舟片上淡黄色微颗粒;   2.石墨舟舟片上​可(kě)去掉,或不可(kě)去掉小(xiǎo)白点;   3.石墨舟舟片上黄色或者白色雾状附着物(wù)(称為(wèi)气流异常);   4.石墨舟舟片上雪(xuě)花(huā)状漂浮物(wù);
    发布时间:2019-11-12 浏览次数:3778
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